超声声强：在一定范围内，超声声强越强，空化作用越明显。但当声强过高是，在声源表面会产生大量无用的气泡，从而形成一道声屏障，使远离声源的声波强度减弱；令一方面在高声强的作用下空化泡可能膨胀过大而在压缩时来不及闭合，导致无法产生空化。
超声频率：频率越低空化作用越强，频率越高在液体里产生同样的空化效果所需的声功率越大。
清洗溶液的黏度：溶液黏度越小，越容易产生空化，空化效果也越强。
溶解于清洗溶液中的气体：为了得到良好的空化效果，液体中溶解的气体必须尽量减少。
温度：温度是影响超声空化作用的重要因素。温度升高会减小清洗溶液的黏性、降低气体在液体中的溶解度。并且温度升高会使空化核增加，也有利与空化。对于水溶液，较为事宜的温度为60℃。
超声声强及超声频率是固定的，但声强偶尔也会有所降低，比如电抗器匝间短路及换能器阵列中的个别换能器损坏时。出现以上状况时，超声电源的阻抗匹配状态会被破坏，换能器的输出声强会有所减弱，清洗效果就会变差。
