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苏州苏净-尘埃粒子计数器的应用

2021-10-13 10:45:15
[导读]气体中微小颗粒物的沉积会造成电气不良特性甚至更严重的破坏,因此准确评价空气洁净度已经成为这些行业生产和产品检测的迫切要求。

空气中颗粒物污染不仅危害人类健康,还是医药、电子、航空等行业生产及加工工艺中主要的污染来源,如在电子行业及芯片制造工业中,气体中微小颗粒物的沉积会造成电气不良特性甚至更严重的破坏,因此准确评价空气洁净度已经成为这些行业生产和产品检测的迫切要求。在我国国家标准 《洁净厂房设计规范》(GB50073—2013)中就以 0.1~5.0 μm 范围内各粒径档的颗粒数量浓度作为洁净间等级的划分标准。目前主要用于空气洁净度测量的商业仪器为尘埃粒子计数器,又称激光粒子计数器(optical particle counter,OPC)。尘埃粒子计数器以光散射为测量基础,即当被测气溶胶经仪器进样系统并以恒定流速通过光敏感区时,会发生颗粒的光散射现象并产生散射信号,且该光散射信号强弱及数量与气溶胶中颗粒粒径和数量密切相关。通过对该信号的光电转化、放大及检测,再利用软件及显示单元可得到单位体积中的粒子数量,即粒子数量浓度。尘埃粒子计数器可测量粒径范围为 0.1~10 μm 的颗粒数量浓度,有效满足对洁净度的监测。

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