从实验角度提出的管式炉选购建议及技巧：

根据温度选择管式炉

A、选择工作温度时，请注意仪器所能保持的最高温度(<1小时)和仪器能连续工作的温度(安全、连续使用的温度)。

B、仪器使用的加热元件限制了加热炉的最大工作温度,目前科晶加热元件可分为四类:

（1）250 ~ 1250℃ 采用电阻丝加热元件或红外灯管加热元件，最高加热温度1200℃，长时间使用1100℃，采用K型热电偶测温（如果客户需要也可更换为S热偶）。

（2）1300 ~ 1600℃ 采用碳化硅加热元件，采用S型热电偶测温。                                          

（3）1600 ~ 1800℃ 采用MoSi2加热元件（禁止长时间在800℃以下加热），采用B型热电偶测温。

2、根据样品大小选择坩埚→炉管管径→管式炉

A、坩埚选择（严禁不用坩埚直接将样品放入常规炉管）

a.石英坩埚:≤1200℃使用石英管，热处理温度超过600℃时，请不要用氧化铝坩埚。

b.氧化铝坩埚：≤1800℃使用刚玉管，热处理温度超过900℃时，请不要用莫来石坩埚。

c.石墨坩埚：≤ 2300℃

B、管径的选择

（1）选择好坩埚后，根据坩埚装载样品后的体积选择合适的炉管管径（一般买炉子会标配有加热炉管）。

a.石英管 ≤1200℃ （真空环境下最高1000℃）

b.刚玉管  ≤1800℃  （刚玉管不建议真空环境下使用）

C、科晶管式炉管径与坩埚尺寸估算表

根据功能选择加热炉

  管式炉为基础加热系统，您可以根据不同的需求选择成套科晶系统，如CVD、 PECVD、HPCVD、ALD、石墨烯和二维材料生长系统等。

例如：

（1）生长石墨烯/PECVD系统，整个系统包括加热炉系统、射频电源、供气系统、真空系统、水冷系统、通风系统、氢气报警系统。

（2）立式管式炉：加热管垂直放置，以悬吊样品的方式，为样品提供淬火。

（3）RTP(快速热处理加热炉):可以对样品进行快速加热和快速冷却。

例如：

a.OTF-1200X-4-RTP快速退火管式炉，最快50℃/s升温速度，红外灯管加热。

b.OTF-1200X-50-S 迷你型快速加热冷却炉，加热炉加热到某一温度后，滑至样品所在区域，可以提高升温速度，热处理结束，将炉体移开，使样品所在区域暴露在炉膛外快速冷却。（4）高温高压炉/真空炉:特殊设计的镍铬合金和不锈钢炉管，对样品进行高温高压和真空处理。

（4）高温高压炉/真空炉:特殊设计的镍铬合金和不锈钢炉管，对样品进行高温高压和真空处理。

（5）旋转管式炉:炉管旋转式结构可以更均匀的热处理粉末，同时也可以达到粉末均匀包覆的效果。

（6）氢气炉/气氛炉:氢气处理或其他危险气体的实验，请和销售技术人员提前说明。不建议使用普通管式炉做危险实验。