等离子发射源

输出功率：5 -500W    ± 1% .     

射频频率：13.56 MHz    ±0.005% . 

反射功率： 最大 200W  

匹配： 自动 

射频接口：50 Ω, N-type

噪音：<50 dB.   

冷却：风冷.

电源：AC 208-240V, 50/60Hz

无油真空泵机组

Pfeiffer（德国）高速( 226L/min) 无油干泵, 极限真空10E-3 Torr L

KFD25 快接，不锈钢波纹管，手动挡板阀与法兰，真空泵相连

管内真空可达10E-2 Torr 

数字真空计 ( 美国) 安装在左法兰上. 

可选法兰：本公司生产的带铰链式法兰

本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。

质量流量计

四个精密的质量流量计(精度0.02% ) ：数字显示，自动控制.

MFC 1范围:  0~100 sccm 

MFC 2和3:    0~200 sccm  

MFC 4范围:   0~500 sccm 

一个混气罐，底部装有泄废液口. 

一个不锈钢针阀安装在供气系统的左侧，可手动控制4种气体.

进气口: 4个1/4NPS.

出气口: 4个 1/4NPS.

控温软件

计算机可以通过控温软件控制炉子：RS485 接口和软件是免费的，但需要购买数据线和一个控制模块

为了获得较大的升温速度, 必须预热到设定温度，然后将炉子滑到样品位置。

为了获得较快的降温速度,可将加热的炉子从热区滑到冷区.

升温速率：

15°C/sec (RT - 150°C);10°C/sec (150°C - 250°C);7°C/sec (250°C - 350°C);4°C/sec (350°C - 500°C);3°C/sec (350°C - 550°C);2°C/sec (550°C - 650°C);1°C/sec (650°C - 800°C);0.5°C/sec (800°C - 1000°C);

冷却速率：

15°C/sec (1000 - 950°C);10°C/sec (950°C - 900°C);7°C/sec (900°C - 850°C);4°C/sec (850°C - 750°C);2°C/sec (750°C --600°C);1.5°C/sec (600°C - 500°C);1°C/sec (500°C - 400°C);0.5°C/sec (400°C - 300°C);

水循环冷却器

水冷法兰要求：水流量 >= 10L/M . 可以用自来水进行水冷,

为了节约水资源，我们建议使用水循环冷却器。

炉体: 550 x 380 x 520  mm  

滑轨:   1750 mm 长 

移动架: 1200 x 1200 x 600mm.  

净重: 220 Lbs. 

运输重量: 500lbs.