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产品介绍:
GSL-4Z是一款多路质量流量计控制系统,其质量流量计和不锈钢混气罐都安装在一个移动柜里,移动柜最大可以承重1000Lbs,所以在与本公司大多数管式炉配套使用时,可将管式炉置于移动柜上以节约空间。各通道气路的流量设定和状态显示都集中在一6"的触摸屏上,同时可以实时查看气体流量曲线和数据。此款设备广泛的用于材料界中CVD实验和各种材料的退火实验。
控制面板:
各通道的气路设定和查看都集中在一6"的触摸屏上 可通过触摸屏设定每个通道的气体流量,实时查看各通道的流量曲线和设定数据
技术参数:
质子流量控制器:
流量范围:一路:1—99SCCM 二路:1—199SCCM三路:1—199SCCM 四路:1—499SCCM
其他量程可以选定 ,标准的均以N2标定(通入其他气体时可以根据说明书中列出的气体转换系数,算出所要设定的气体流量)。
工作温度:5—45℃
准确度:±1.5%F.S.
线性:±(0.5-1.5)%F.S.
重复精度:±0.2%F.S.
机械压力表:有一机械压力表安装于前面板上,与混气罐相连接
量程:-0.1Mpa—0.15MPa
气路接口:气路的接口都采用6.35的不锈钢卡套接头
通气管道:内部连接管道为1/4”不锈钢管;外部通气管道为1/4”聚四氟管混气罐材料:304不锈钢 Φ80×120mm
外形尺寸:长600×宽745×高700mm
质保期:一年质保期,,终生维护