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产品介绍:
GSL-1800X-SBC2是为扫描电镜和电子揉针等进行试验制备的设备,可进行真空蒸碳、真空镀膜和离子溅射,它也可以在高纯氢气保护下进行等离子处理。对于实验室此款设备是极好的镀膜设备。
输入电源 |
208 - 240VAC , 10A , 50/60 Hz, 单相 |
功率 |
< 2000W (包括真空泵) |
输出电压 |
(DC)AC10V 最大电流 100A (对于真空镀膜) DC 3KV, 10mA (对于等离子溅射) |
真空腔体
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有一玻璃钟罩:250mm dia. x 340mm (2)玻璃处理室:玻璃罩 A:内径88mm×高度140mm(用于真空镀膜) 玻璃罩 B:内径88mm×高度57mm(用于等离子溅射) |
镀膜装置
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对于制膜,仪器可设置三种模式: (1)一种模式专门针对于蒸发镀膜(下方左图)此仪器可以同时蒸镀两种材料,其最高温度可以达到1800℃采用钨丝进行加热(2)蒸碳镀膜模式(下方中图) 仪器中包括有两组碳棒 (3)直流等离子溅射模式(下方右图)仪器中包含有一金靶(38mm Dia x 0.2 mm t)可在本公司选购其他材质靶材
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样品台 |
样品台可以自动转动(见左图) 样品台尺寸:40mm 仪器上安装有一电动快门用于控制蒸镀的开始与停止(见右图)
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真空泵 |
仪器下端安装有一机械泵和分子泵 抽速:600L/S 真空度: 10-6 torr 设备工作环境温度:< 32°C |
控制面板 |
在控制面板上可以选择镀膜模式,调节溅射电流和蒸发功率
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外型尺寸 |
L800mm× W560mm× H1340mm |
净重 | 150 kg |
质保期 | 一年质保期,终身维护 |
因此,有必要建立一种测定下限低、过程简单、废物最小化的分析方法,以适应铀金属试样中微量碳的测 定。
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