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产品介绍：
GSL-1100X-SPC12H是一款紧凑型加热等离子薄膜溅射仪，专门设计为基地镀上金属膜，如金，铂，铟和银等。最大可放置样品尺寸直径为40mm，膜厚可达300埃，特别适用于为SEM样品镀上金而作为导电极。此款等离子薄膜溅射仪上自带了所必要的配件，可立即使用，包含一个溅射靶材，真空泵，不锈钢波纹管和快速卸装卡箍。
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输入电源 |
208V - 240V, 50/60 Hz, < 3000W |
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样品室 |
石英腔体尺寸, 100 mm Dia. x 130mm H 带有不锈钢法兰
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衬底加热器 |
载样台的尺寸为60 mm,可加热到600度 一个30段可编程温度控制器，控温精度±1oC 推荐升温速率:15°C/m 样品台的高度可以调节
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真空配置
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每个配件包含在内，可立即使用 仪器中配有一台2L/S双旋片机械泵，出气口安装有立式油污过滤器，过滤真空泵工作时产生的油烟，和减少泵油的损耗，保护环境和人体健康。 高纯度金箔靶
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| 进气口 |
有一不锈钢针阀安装在仪器上，可以通入氩气，能实现更好的等离子涂层 |
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靶材 |
靶材标配 靶材包含：4N purity Gold foil: 57 mm dia. x 0.12 mm 可选靶材 |
| 外形尺寸 |
L480mmx W320mm x H150mm |
| 净重 | 20 kg |
| 质保期 | 一年质保期，终身维护 |
样品台 
温控盒后视图
