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合肥科晶GSL-1100X-SPC12H加热型等离子薄膜溅射仪

品 牌:合肥科晶

型 号:GSL-1100X-SPC12H

市场价:1

促销价:<请联系客服>

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石英腔体尺寸, 100 mm Dia. x 130mm H 带有不锈钢法兰

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详细介绍

产品介绍:

GSL-1100X-SPC12H是一款紧凑型加热等离子薄膜溅射仪,专门设计为基地镀上金属膜,如金,铂,铟和银等。最大可放置样品尺寸直径为40mm,膜厚可达300埃,特别适用于为SEM样品镀上金而作为导电极。此款等离子薄膜溅射仪上自带了所必要的配件,可立即使用,包含一个溅射靶材,真空泵,不锈钢波纹管和快速卸装卡箍。

输入电源
208V - 240V, 50/60 Hz, < 3000W
样品室

石英腔体尺寸, 100 mm Dia. x 130mm H

带有不锈钢法兰

   

衬底加热器

载样台的尺寸为60 mm,可加热到600度

一个30段可编程温度控制器,控温精度±1oC

推荐升温速率:15°C/m

样品台的高度可以调节

样品台 温控盒后视图

真空配置

每个配件包含在内,可立即使用

仪器中配有一台2L/S双旋片机械泵,出气口安装有立式油污过滤器,过滤真空泵工作时产生的油烟,和减少泵油的损耗,保护环境和人体健康。

高纯度金箔靶

进气口 有一不锈钢针阀安装在仪器上,可以通入氩气,能实现更好的等离子涂层
靶材


靶材标配

靶材包含:4N purity Gold foil:  57 mm dia. x 0.12 mm

可选靶材

外形尺寸 L480mmx W320mm x H150mm
净重 20 kg
质保期 一年质保期,终身维护

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