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产品介绍:
GSL-1100X-III-8.5T是一款通过CE认证并采用UL标准制造的一款三温区管式炉。该管式炉配备有8.5英寸的石英管和水冷法兰,一块触摸屏控制温度和真空度,操作简洁方便。最高工作温度1150℃,真空度可以达到10-5 torr。该管式炉是一款理想的做退火,扩散和CVD等的实验设备。
炉体结构:
采用双层壳体风冷系统,工作时使得壳体表面温度<60°C。采用高纯度氧化铝作为炉膛材料,保温性能极佳,最大限度减少热量损失。通过触摸屏控制工作温度,真空度,水冷机组在炉子底部安装有水冷和高真空机组采用铰链水冷法兰,操作方便简洁
加热区:
总加热区长度: 900 mm (36")三个区: 300 mm + 300 mm + 300mm (12"每个加热区)恒温区长度: 750 mm (三个温区可设置相同的温度,误差为+/- 2°C) 注:由于测量手段及外部环境的影响,测量结果可能会有偏差,此参数仅供参考不作为该设备的技术指标。您购买产品需要准确的恒温区数据,请与我公司销售人员联系
真空泵系统:
在炉子下方配备了一个数子分子泵系统最高真空度可达10-5 torr真空泵由触摸屏控制
真空系统及法兰:
配备一对水冷密封法兰(铰链法兰)左法兰配备:真空计和触摸屏控制的电磁阀(用于控制炉内气氛环境)右法兰配备:KF40真空接口,用于连接真空泵接口上的电磁阀法兰外端配备一个外径1/4"的热电偶插口,用于方便进行温度校准炉子底部配备有一个16L/min水冷机,用于水冷法兰的供水
温度控制:
配备一块触摸屏控制温度三个加热区可分别设置30段升降温程序控温精度+/- 1°C每个温区都配备一个K型omega原装热电偶
技术参数:
石英管尺寸:采用高纯度石英管
尺寸: 216 O.D x 206 I.D x 1300mm L (8.5" O.D x 8.1" I.D x 51" L)
提示:石英管是损耗品,警告:石英管是易碎品,请妥善保管。人为损坏不在保修范围内。标配两块氧化铝纤维管堵,用于阻挡管内的热辐射(加热炉在工作时必须放入管堵)可选石英管堵,提高洁净度及真空度
工作温度:最高工作温度 1150°C
连续工作: 200~1100°C
最大加热/冷却速率: 10°C/min
额定电压:单相, 220V AC, 50/60 Hz包括AWG 8#电源线
最大功率:12KW (需50A的空气开关 )
产品尺寸: L 1700×W 750 × H1800mm
净重:250Kg
质保期:一年质保期,终身维护(炉管,密封圈,加热元件易耗件除外)
可选:可以另配混气系统用于CVD实验
使用注意事项:
炉管内气压不可高于0.02MPa由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击石英管的长时间使用温度<1100℃对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)